美国阻挠荷兰对中国出口EUV光刻机
2019年,荷兰的阿斯麦员工在处理该公司半导体光刻系统的相关工作。图片来源:BART VAN OVERBEEKE/AS/REUTERS
中国政府一直在向荷兰政府施压,要求荷方批准中国公司购买阿斯麦(ASML Holding NV)最主要的产品:极紫外光刻机(又称:EUV光刻机)。这款设备对先进制程芯片的生产至关重要。
英特尔公司(Intel Co., INTC)、韩国三星电子(Samsung Electronics Co.)和苹果公司(Apple Inc., AAPL)主要供应商台湾积体电路制造股份有限公司(Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., TSM, 简称﹕台积电)等公司都使用这款180吨重的阿斯麦独家产品制造各类型芯片,这些芯片的应用范围广泛,包括高端智能手机、5G蜂窝设备以及人工智能领域的计算机等。
中国希望国内芯片制造商能使用这款售价1.5亿美元的机器,以便让智能手机巨头华为技术有限公司(Huawei Technologies Co.)等中国科技公司减少对外国供应商的依赖。但阿斯麦至今没有向中国销售过一台EUV光刻机,因为迫于美国的施压,荷兰没有发放向中国出口EUV光刻机的许可证。
据美国官员称,拜登(Joe Biden)政府出于国家安全考虑,已要求荷兰政府限制销售EUV光刻机。这一立场沿袭了特朗普(Donald Trump)政府的做法。特朗普政府最先指出了该机器的战略价值,并与荷兰官员进行了接触。
美国政府以担心存在间谍活动为由直接针对华为等中国企业采取了出口管制措施,而且试图说服外国盟友限制使用华为的设备。华为称这种担忧没有依据。但美国对阿斯麦和荷兰的施压与之不同,代表了整体中美科技冷战中的一种附带损害。
“当涉及到有针对性且具体的国家安全问题时,出口管制是有效的工具,”他在一份声明中称。“然而,作为有关半导体领先地位的国家战略的一部分,各国政府需要考虑清楚的是,如果过度使用禁令,中期来看会因研发削弱而阻碍创新。”他表示,在中短期内,广泛使用出口管制“可能降低全球芯片制造产能,加剧供应链的问题”。
美国的游说已令中荷关系变得紧张。据知情人士称,中国官员询问荷兰官员为何不发放许可证,导致阿斯麦无法将EUV光刻机销往中国。去年,时任中国驻荷兰大使曾对一家荷兰报纸表示,如果不允许阿斯麦向中国出口高端光刻机,两国贸易关系料将受损。
拜登就职后不到一个月,他的国家安全顾问沙利文(Jake Sullivan)就与荷兰方面对等的安全官员进行了沟通,就白宫所描述的美荷两国在“先进技术领域的密切合作”展开讨论。美国官员说,继续限制阿斯麦与中国的业务往来是沙利文待办事务清单上的首要任务。
美国的施压行动始于特朗普执政时期。时任副国家安全顾问库珀曼(Charles Kupperman)曾在2019年邀请荷兰外交官前往白宫会谈。据库珀曼回忆当时的情景,他对荷兰外交官称,“好盟友不会向中国出售这种类型的设备”。库珀曼说,他当时指出如果没有美国提供的零部件,阿斯麦的设备就运转不了,并且白宫有权限制向荷兰出口这些零部件。
知情人士称,目前白宫内部不打算对荷兰施加进一步限制。知情人士说,美国正努力召集西方盟友,希望联合进行出口管控。这一举措的潜在影响可能触及阿斯麦之外,进一步扰乱全球范围内已经极为紧张的半导体供应链。
阿斯麦是在20世纪90年代从荷兰综合企业巨头荷兰皇家飞利浦(Royal Philips NV)中分拆出来。阿斯麦的总部设在靠近比利时边境的韦尔德霍芬。该公司专门从事光刻技术,利用光学手段在光敏表面进行刻蚀的工艺。
光刻技术是芯片制造商的核心所在,光刻相当于用光在硅晶圆上描摹网格状的绘线,然后将这些线条蚀刻掉,就好比用刀子在木头上雕刻一样,只不过光刻使用的是化学品。刻蚀后留下的硅方块成为晶体管。
一块芯片上的晶体管数量越多,这块芯片的功率就越强大。在芯片上刻蚀更多晶体管的最佳方法之一是将线刻得更细。这项技术正是阿斯麦的专长。阿斯麦的光刻机能够刻蚀出当今世界上最细的线条。
这些机器采用激光和镜片来绘制五纳米宽的线,运输这些机器需要动用三架波音(Boeing) 747飞机。预计线宽在几年内将缩小至不到一纳米。相比之下,人类一缕头发的宽度为75,000纳米。
佳能(Canon Inc., CAJ)和尼康(Nikon Corp.)等竞争者只能生产老一代的芯片制造工具。英特尔、三星电子和台积电认识到该技术在推动计算能力上的关键作用后,于2012年入股阿斯麦。
阿斯麦预计今年将生产42台最先进光刻机,明年将生产55台。2020年,中国市场在阿斯麦总销售额中的占比为17%。不过,这些销售仅限于老一代光刻机。分析师们称,如果得不到阿斯麦生产的最先进机器,那么在中国国产光刻机迎头赶上之前,国内芯片制造商就无法制造出先进制程芯片。
阿斯麦首席执行官Wennink告诉分析师,对中国的出口限制并没有影响到该公司业务,因为其他市场的需求非常旺盛。阿斯麦2020年销售额约为165亿美元,利润约为41亿美元。过去五年,该公司股价已累计上涨六倍。
据估计,中国至少还需要10年才能赶上阿斯麦的技术水平,这促使特朗普政府当初开始游说荷兰政府禁止对华出口此类机器。特朗普政府时期的商务部官员Nazak Nikakhtar称,当时她告诉荷兰商务部官员,“这么做符合我们共同的国家安全利益”。
Stu Woo发自伦敦 / Yang Jie发自东京
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